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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 기계ㆍ소재 - 로봇/자동화기계 | 다품종 유연생산 공정 구축을 위한 무인 이송 모빌리티 개발 및 이를 이용한 고중량 사출 금형 운영 자동화 시스템 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 정전척용 서셉터의 650 이상 고온 체적 저항 및 내식성 향상을 위한 세라믹 소재 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 전기전자부품 | 플라즈마에 의한 파티클 발생이 50%이상 개선된 정전척용 서셉터 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 전기전자부품 | 반도체 ALD 공정용 내플라즈마성이 향상된 650 이상의 히터 기능을 가진 정전척용 서셉터 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 멀티 플렉시블 OLED용 실시간 패널변형 평가모듈 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 요소부품 | 글로벌 경쟁력 강화를 위한 로봇용 차세대 감속기 및 신뢰성 고도화 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | He Recycle을 활용한 반도체 공정용 5N5급 He 제조 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 1.2A 이상의 Device 전류 공급과 IO당 4Gbit 이상의 Fail Memory를 탑재한 전력 절감형 메모리 반도체 웨이퍼 테스트 장비 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 5N급 이상 고순도 Rare Gas(Ne He) 제조를 위한 정제 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 차세대 대용량 메모리 반도체 테스트를 위한 채널당 1.2A 이상의 Device 전류 공급과 IO당 4Gbit 이상의 Fail Memory를 탑재한 전력 절감형 메모리 반도체 웨이퍼 테스트 장비 개발 |
