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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | Gate Oxide Nitridation 공정용 플라즈마 전처리 시스템의 플라즈마 발생원 모듈장치 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | DRAM 반도체 질화공정(Nitridation)을 위한 플라즈마 전처리 시스템 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 산업/일반기계 | 디지털 기반 차세대 개방형 승강기 운영시스템 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 자동차/철도차량 | 자율주행차 5G 통신 기반의 소프트웨어 업데이트 기술 국제표준 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 디스플레이 제조장비용 가스 정밀 유량제어 가스공급 시스템 |
| 화학 - 섬유제조공정 | DeNOx 촉매 담지용 PTFE 부직포 및 여과효율 99.9% 이상 멤브레인 제조 기술개발 |
| 화학 - 섬유제조공정 | DeNOx 효율 50% 이상의 촉매 담지 PTFE 복합 필터 모듈 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 자동차/철도차량 | 글로벌 대응형 eShift 구동 부품 성능 고도화 기술개발 |
| 기계ㆍ소재 - 자동차/철도차량 | Smart Safety 기술 기반의 SCU 일체형 e Shift 시스템 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 무기발광 디스플레이 표준화 기반조성 |
