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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 기계ㆍ소재 - 정밀생산기계 | 개방형 운영체제기반 스마트 공작기계 및 지능화 솔루션 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | Chemical 재사용(Recycle)을 통한 사용량 50% 이상 저감 CSB(Chemical Supply Box) 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 플라즈마 전처리 시스템 전력공급 모듈용 정밀제어 기술 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 표면처리 | 디지털 홀로그램 제품에 대한 광학 특성 표준 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 100펨토리터 액적 생성용과 500cP 이상의 고점도 잉크용 전기수력학 128 노즐 프린트 헤드 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 600ppi 초고해상도 디스플레이 제조용 100펨토리터 액적 생성용 및 500cP 이상 고점도 잉크용 전기수력학 프린트 헤드장비기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | Chemical 사용량 50% 이상 감소를 위한 고식각 반도체 희생막 제거용 매엽식 습식 세정 장비개발 |
| 기계ㆍ소재 - 자동차/철도차량 | Smart Safety 기반 SCU 일체형 eShift 모듈 및 시스템 통합실증기술개발 |
| 화학 - 섬유제품 | DeNOx 효율 50% 이상 PTFE MCA(Membrane Catalyst Assembly)필터 모듈 개발 및 실증 |
| 기계ㆍ소재 - 조선/해양시스템 | LNGLH2 선박 운항 환경 고려한 화물창내 상변화 BOR 및 압력변화 예측 기반 기술 개발 |
