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기술분야 | 과제명 |
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기계ㆍ소재 - 금속재료 | 고품위 타이타늄 친환경 일관공정 및 고신뢰 소재부품 개발 |
전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 반도체 공정 실시간 플라즈마 모니터링용 다채널 분광시스템 개발 |
전기ㆍ전자 - 계측기기 | IoT 기반 통신 모뎀 착탈형 실측식 스마트 수도미터 개발 |
화학 - 대기/폐기물 | 고염소 함유 조강형 특수 세라믹 바인더 제조기술 개발 |
기계ㆍ소재 - 주조/용접 | 용접물 인식 기반의 자율 용접 로봇시스템 실증 |
화학 - 정밀화학 | 신축 디바이스용 가변성 구현 핵심 소재 개발 및 응용 제품 개발 |
기계ㆍ소재 - 표면처리 | 반도체 공정 내플라즈마 부품 국산화를 위한 10um 이하의 미세 분말 직접 공급 장치를 이용한 초고밀도 세라믹 용사 장치 및 코팅 기술 개발 |
전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 피부 밀착형 무선 유연복합센서 기반 지능형 반도체 IP 개발 |
화학 - 대기/폐기물 | 세라믹 바인더 제조공정의 알루미노실리케이트계 원료 적용시스템 및 세라믹 바인더 물성개발 |
전기ㆍ전자 - 반도체장비 | In situ 질량 분석을 통한 차세대 반도체 공정 화학반응 실시간 진단 제어 기술 개발 |