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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 650 C 내열 충격성이 향상된 멀티존 세라믹히터 소재 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 650 이상 반도체 고온공정용 세라믹 히터 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 정밀생산기계 | 타이타늄 인코넬 원통형 부품가공용 고생산성 터닝센터 실증 |
| 화학 - 섬유재료 | 고성능 유기섬유 강화소재 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 표면처리 | 미세회로용 두께 0.7um이상 이형동박 및 지름 3.5m급 타이타늄 드럼전극 생산기술 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 금속재료 | 250 Wh/kg급 고출력 고밀도 배터리 패키징 기술 개발 |
| 에너지ㆍ자원 - 신재생에너지 | 탄화수소기반 에너지 수송저장용 철강소재 및 부품 제조 기술 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 반도체 공정용 진공펌프 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 자동차/철도차량 | 차세대 수송기기의 경량화를 위한 구조용 마그네슘 소재 및 부품 제조기술 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 금속재료 | 650급 내환경성 초내열합금 및 블레이드 제조 기술 개발 |
