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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 디스플레이반도체 공정장비용 1.3E8mbar이하 초고진공 터보분자펌프 기술개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 반도체 공정용 드라이 펌프 계열 진공펌프 및 상용화 기술개발 |
| 지식서비스 - 제조융합 서비스 | 스마트 건설기계 운영시스템 연동을 위한 5G 기반의 게이트웨이 및 건설현장 네트워크 시스템 기술개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 고출력 F Cl계 플라즈마 공정 대응 대형부품용 내플라즈마 세라믹 코팅 신소재 및 코팅공정기술 |
| 기계ㆍ소재 - 정밀생산기계 | 스크랩을 활용한 정밀가공용100nm급 텅스텐계 소재 및 공구제조기술개발 |
| 기계ㆍ소재 - 정밀생산기계 | 로봇 기반 자동차용 CFRP메탈 부품 가공접합 시스템 개발 |
| 화학 - 고분자재료 | 단백질 분리 농축용 한외여과급 바이오 제약용 여과막 및 모듈 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 반도체 진공펌프용 핵심부품 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 조선/해양시스템 | LNG 연료 공급 시스템용 저압 LNG 펌프(25m3h) 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 금속재료 | 전기전자에너지 산업 부품급 고융점 금속소재 제조기술 개발 |
