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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 고종횡비 컨택홀 세정 및 부산물 제거용 장비 및 공정 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 자가 진단 기능을 구비한 고종횡비 컨택홀 세정 및 부산물 제거용 장비 및 공정 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 10nm 이하 차세대 반도체 제조 공정용 습식 Etchant 및 핵심소재 개발 |
| 화학 - 고분자재료 | 굴절율 1.5급 용액형 투명 커버윈도우용 폴리이미드 코팅 소재 및 복합 커버 윈도우 제품화 기술 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 에너지/환경 기계시스템 | 액화연료 이송용 터보형 펌프 성능 및 핵심 기능 신뢰도 검증 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | OLED 디스플레이 TFT 전극 확산 방지막용 반사율 10% 이하 저반사 박막 소재 개발 |
| 에너지ㆍ자원 - 신재생에너지 | 알칼라인 수전해 스택 기술 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 에너지/환경 기계시스템 | 액화수소용 섭씨 영하 200이하 100MPa급 컴팩트형 열교환기 설계기술 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 로봇/자동화기계 | 12챔버 이상 대응 웨이퍼 진공 이송 시스템 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 에너지/환경 기계시스템 | 액화연료 이송용 터보형 펌프 3종 설계 기술 개발 및 선급 인증 |
