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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | In vacuo XPS 표면 분석을 이용한 복합막의 ALE 공정 연구 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 4-D 이미지 레이다용 단일칩 레이다 센서 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 타액을 이용한 무채혈·비침습 방식의 당뇨 센서와 시스템 반도체가 내장된 측정기 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 자동차/철도차량 | 민관공동투자 기반 반도체 R&D 융합형 고급인력양성 총괄 |
| 기계ㆍ소재 - 표면처리 | 몰리브덴 산화물 원자층 증착(ALD) 기술 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 차세대 3D NAND에서 고종횡비 구조의 식각 성능향상을 위한 공정기술개발 |
| 기계ㆍ소재 - 자동차/철도차량 | 수소차 가스 공급시스템 용 마이크로 융합 수소압 측정 소자 및 디지털 반도체 센서 모듈 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | BEOL 회로설계기반 3D 스케일링 배선기술개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 자율주행차용 고해상도 MEMS형 4D FMCW 라이다 상용화를 위한 핵심 광소자 국산화 및 초소형 광집적 모듈 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 원자층 증착법 기반 초격자 구조의 상변화 멤리스터 소재 및 소자 개발 |
