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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 13nm 이하 메모리 소자공정을 위한 고해상도 낮은 LER 패턴형성을 위한 무기물 EUV 레지스트 및 무기 언더레이어 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 소성가공/분말 | 6N급 고순도 가스 공급을 위한 UHP급 가스 제어 소재 부품 및 모듈 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 항공/우주시스템 | 직경 250mm 길이 12m급 대구경장축 500MPa급 고강도 알루미늄 항공 압출재 및 부품화 기술 |
| 기계ㆍ소재 - 항공/우주시스템 | 글로벌 공급망 진입 확대를 위한 고강도 알루미늄 250mm 12m급 대구경장축 항공압출재 및 부품화 기술 개발 |
| 바이오ㆍ의료 - 의료정보 및 시스템 | 선별진료소 양방향 테스트 부스의 기능 및 품질평가 기준 국제표준 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 요소부품 | CMP Pad Conditioner 정밀 제조 기술개발 |
| 기계ㆍ소재 - 요소부품 | 고기능성 CMP PAD Conditioner를 위한 박막 소재 및 코팅 기술개발 |
| 기계ㆍ소재 - 요소부품 | 5nm 이하 반도체 소자 적용을 위한 CMP Conditioner 기술개발 |
| 바이오ㆍ의료 - 산업바이오 | K방역모델 국제표준화 기반조성 |
| 바이오ㆍ의료 - 의료정보 및 시스템 | 감염병 대응을 위한 비대면 기반 의료인 교육프로그램 국제표준 개발 |
