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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 차세대 반도체 제조용 고성능 LMFC (liquid mass flow controller) 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 1인치 이상에서 360ppi급 초미세 적층구조 마이크로LED RGB 화소용 광원 제조 기술개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 8.5세대 수직이송형 하이브리드 자기부상 시스템 및 핵심 부품 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 정밀생산기계 | 300 W급 펨토초 레이저 기반 웨이퍼 절단 장비 및 극초단 레이저용 광부품 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 정밀생산기계 | 스마트 센싱 기반 라이팅 광학부품 및 모듈기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 금속 산화막 채널을 이용한 차세대 트랜지스터 제조용 고성능 ALD 장비 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 금속 산화막 채널을 이용한 차세대 트랜지스터 제조용 고성능 ALD 장비 및 핵심 부품 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 전기전자부품 | 반도체 패키지 기판용 12um 캐리어부착 고내열(250도 이하) 하이브리드 박리층을 구비한 초극박(1um) 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 디스플레이용 초미세 RGB 적층형 마이크로LED 광원 및 화소제조 핵심기술개발 |
| 전기ㆍ전자 - 광응용기기 | 비결정 소재를 활용한 스마트카용 첨단 광전자 부품모듈 제조기술 개발 |
