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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 기계ㆍ소재 - 나노ㆍ마이크로 기계시스템 | 다품종 맞춤형 센서 제조플랫폼 개발 및 제조지원 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 몰드 웨이퍼 표면 그라인더 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | PIM 반도체의 PCRAM 제조를 위한 EHU(Extreme High Unbalanced) magnetron을 포함한 초고진공 PVD 장비 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 자유형상 고집적 융복합센서를 위한 대면적 웨이퍼레벨 유연인장 하이브리드 센서 플랫폼 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 바이오 분석장비용 광자검출효율 40% 이상의 Si-APD 기반 광배열 센서 모듈 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | MRAM 자성 물성 분석용 비파괴 방식 고속 검사 장비 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 반도체 Wafer 및 소재내 ppt level 금속/이온 오염 인라인 분석 기술 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 차량 나이트비전을 위한 비냉각 방식 초고효율 이미지센서 어레이 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 고속 SCM 메모리용 모듈 인터페이스를 위한 저잡음 회로 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 대면적 기판을 활용한 반도체 패키징 검사기술개발 |
