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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 플라즈마-마이크로파 기반 고속 도핑농도 측정장비 기술개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | IH System의 고효율, 고신뢰성을 위한 WBG 전력 소자을 적용한 커플드 파워 패키지 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 2kV급 수직형 GaN 전력소자용 에피 및 소자 핵심 원천 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | SiC MOSFET 소자 적용 단상/3상 AC/DC 컨버터 스마트 파워 IC 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | MTJ(Magnet Tunnel Junction) Capping Layer 제조용 Plasma Source를 이용한 저온공정 Silicon Nitride 증착 장비 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 1.2kV급 저손실 산화갈륨 트랜지스터 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 저가형 LiDAR용 양자점 소재 기반 고성능 eye-safe 대역 SWIR 센서기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 계측기기 | 머신러닝과 20 ㎛ 스팟을 겸비한 300 mm 웨이퍼용 OCD 계측장비 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 정밀생산기계 | PIM용 적층 메모리 수율 향상을 위한 웨이퍼 에지 트리머 (Wafer Edge Trimmer) 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 다종센서의 융복합 및 초소형화를 위한 센서 플랫폼 기술 개발 |
