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| 기술분야 | 과제명 |
|---|---|
| 전기ㆍ전자 - 전지 | 저순도 니켈 산화광/순환자원으로부터 탄소저감 정련 공정을 활용한 배터리용 고순도 니켈 원료 소재 제조 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 전지 | 고전압/저가격 미드니켈(Ni≤70%) 양극재 및 적용기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 레이저 광원을 사용하는 조명 및 투사 광학계 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 8세대 기판용 반복 정밀도 0.2㎛급 고정밀 스테이지 개발 |
| 기계ㆍ소재 - 정밀생산기계 | 온도 제어 ±0.01℃ 이내 고정밀 환경 컨트롤 유닛, 측정시스템 연동 하드웨어 및 패턴 보정 자동화 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 1.5㎛급 고해상도 디지털 노광기 핵심 요소 기술, 통합시스템 개발 및 평가 인프라 구축 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 8세대 1.5㎛급 해상도 디지털 노광기 시스템 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 디스플레이 | 8.x세대 디스플레이용 고온 정전척과 고밀도 플라즈마를 적용한 대면적 불활성 저저항 전극 식각 장비 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 8.6세대 디스플레이 건식식각용 비주사형 안테나와 원격 방식의 하이브리드 고밀도 플라즈마원 기술 개발 |
| 전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 8.x세대 디스플레이용 250℃ 가열 가능한 고온 식각용 하부척 기술개발 |
