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기술분야 | 과제명 |
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화학 - 고분자재료 | 플렉시블 OLED 디스플레이용 산화물 TFT를 위한 고특성 습식 절연소재 및 공정기술 개발 |
전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 고종횡비 식각 공정용 실시간 공정전산모사기 및 가상 계측 방법론 개발 |
기계ㆍ소재 - 정밀생산기계 | LTPS 필름 탈착 등의 제조장비에서 380mm 길이 자외선 레이저용 빔(Beam) 광학계 개발 |
기계ㆍ소재 - 금속재료 | 플렉시블 디스플레이 제품화를 위한 고내구성 동작형 패널의 기구 설계 및 응용제품 기술 개발 |
전기ㆍ전자 - 디스플레이 | OLED 일체형 Color filter 제작을 위한 저온 공정용 고해상도 잉크젯 장비재료 기술 개발 |
전기ㆍ전자 - 광응용기기 | 비진공 공정 제조를 위한 OLED용 화소전극 소재 및 인쇄 공정 핵심기술 개발 |
기계ㆍ소재 - 표면처리 | 높은 영역 선택비를 갖는 선택적 원자층 패터닝 (ALP) 기술 개발 |
전기ㆍ전자 - 반도체장비 | 스마트 예지 정비 기능의 반도체 공정 장비 제어 기술 개발 |
전기ㆍ전자 - 전기전자부품 | 고속전송 하이브리드 유연 PCB 안테나용 절연소재와 공정소재 기술개발 |
전기ㆍ전자 - 반도체소자및 시스템 | 이차원 재료를 활용한 NC FET 기반 슈퍼 스팁 특성 저전력 스위칭 소자 개발 |